“这是我国自主研发高精尖仪器的一个成功范例。”9月6日，由中科院承担的国家重大科研装备研制项目—“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”通过验收，验收委员会给出了如是评价。
该系列前沿装备中的深紫外非线性光学晶体与器件平台、深紫外全固态激光源平台，以及基于这两个平台研制的8台新型深紫外激光科研装备各项既定目标全面完成，使我国成为世界上唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家。
中科院院长白春礼表示，该项目是中科院相关研究所和科学家在长期科研工作积累的基础上，协同攻关、自主创新取得的重要成果，也是中科院近年来“致力重大创新突破、服务创新驱动发展”的具体体现。
中科院工作人员在观察深紫外全固态激光源平台的运行情况。
开启深紫外时代，项目从一个晶体开始。
这是一种名为氟硼铍酸钾（KBBF）的晶体。上世纪90年代初，在发现硼酸盐系列非线性光学晶体后，中科院院士陈创天的研究团队经过10余年努力，在国际上首先生长出大尺寸KBBF晶体。
KBBF晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体，是在非线性光学晶体研究领域中，继硼酸钡、三硼酸锂晶体后的第三个“中国产”非线性光学晶体。
深紫外非线性光学晶体问世后，如何将其研制成实用化、精密化激光源，则成为一个棘手的问题。
KBBF晶体是层状结构，难以切割，而要做到深紫外倍频又必须切割。为此，陈创天携手激光技术专家、中国工程院院士许祖彦，开始摸索解决办法。
“当时中国大陆还没有这方面的实验装置，我们不得不跑到香港科技大学，借用他们的实验室。”许祖彦回忆说，两个人窝在实验室里，每天工作到深夜一两点，终于搞出了KBBF棱镜耦合器件。
中国科学家在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体，以及发明的棱镜耦合技术。
该器件在国际上首次实现了1064nm激光的6倍频输出，将全固态激光波长缩短至177.3nm，首次将深紫外激光技术实用化、精密化，并已获中、日、美专利。
之后两人密切配合，在国际上首次实现KBBF晶体倍频输出深紫外激光，并最终发展出实用化的深紫外固态激光源（DUV－DPL）。
从此，中国开启了深紫外的时代。
从激光源到8台装备
DUV－DPL的研制成功，不仅使得我国激光科技研究突破了200nm以内的“深紫外壁垒”，实现了实用化、精密化，还极大推进了我国科研人员在激光科技研究领域的继续深入。
许祖彦形容自己的工作是“二传手”，“跟上游讨论晶体该长成什么样，向下游询问要什么样的激光”。
他花了一年多时间，跑了二三十个实验室，“推销”DUV－DPL。
深紫外波段（指波长短于200nm的光波）科研装备目前主要使用同步辐射和气体放电等非相干光源。相对于同步辐射而言，在体积方面，配有KBBF晶体棱镜耦合器件的全固态激光器体积变得很小；在能量分辨率方面，比同步辐射提高5~10倍以上；在光子流密度方面，提高了3~5个量级。
2007年年底，财政部专门设立“深紫外固态激光源前沿装备研制”项目，对搭建深紫外非线性晶体和器件研制平台、深紫外固态激光器研发平台，以及研制8台新型DUV－DPL科学仪器，予以专项支持。陈创天、许祖彦担任项目首席科学家。
“为使仪器保持领先，科研人员必须不断调整技术方案。为此，总体部还设立了一个工程监理部，这在国内的科研项目中很少见。”项目总体部总经理、中科院理化所研究员詹文山说。
这样一来，经常要“推倒重来”。身为“二传手”的许祖彦深有体会：在5年多的时间里，满足了仪器研制人员变更技术方案的多项技术要求，解决了光源与8台仪器对接的工程问题。
打造自主创新链
如今，这8台科学仪器已经在石墨烯、高温超导、拓扑绝缘体、宽禁带半导体和催化剂等研究中获得了重要结果。
以深紫外激光光发射电子显微镜（PEEM）为例，目前国际上最先进的光发射电子显微镜空间分辨率最高为20nm，而采用全固态激光器后能提高到3.9nm。中科院大连化物所利用这台仪器开展了石墨烯/Ru（0001）表面插层反应原位观测，为石墨烯等光电子材料发展和应用提供了强有力的研究手段。
詹文山透露，目前2mm以下的KBBF晶体已可小批量生产，满足国内市场需求。8台科学仪器中，PEEM正在逐步进行产业化尝试。
“晶体—光源—装备—科研—产业化，深紫外固态激光源前沿装备研制项目打造了一条自主创新链，涵盖了从提出原创科学思想到实现应用成果这一完整的科学价值链，为学科交叉面广、跨度大、探索性和工程性很强的原创性重大科研装备创新积累了经验，也为中科院各业务管理单元合理分工、深度融合、协力创新提供了典型样本。”白春礼评价道。
“这仅仅是深紫外波段仪器应用的开始。”许祖彦透露，项目二期将从物理、化学、材料拓展到信息、资环、生命等领域，开展6台国际领先水平的仪器设备研制工作，继续推动深紫外技术的深度开发。
同时，在一期任务顺利完成基础上，去年中科院理化所联合北京中科科仪等单位，在科技部支持下启动了深紫外仪器设备产业化开发工作，逐步将研制成功的深紫外仪器设备推向市场。
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